风淋室的温度和湿度怎么控制

随着半导体生产工艺的不断发展，产品的要求更*密、集成度更高是行业发展的趋势。目前，制造工艺已经进人亚纳米时代，线宽都在30-180纳米之间，对生产设备的精度要求越来越严格，因此，除了设备本身的工艺水平需要达到生产要求以外，其所处的生产环境风淋室的各项指标也应该被严格地控制，包括：洁净度、温湿度、照度、气流方向、振动静电、磁场以及有害气体等。其中的温湿度控制是重点，其控制的效果直接影响着生产的优良率。目前无菌罐装间对温湿度的控制范围通常为：温度22/-0.5℃，湿度45+/-3%RH。本文通过对现有洁净室温湿度控制风淋系统的研究，引入模糊控制，以提高温湿度控制的实际效果。

(1)、洁净室温度控制

空气一次加热又称预加热，是用来加热新风或加热新风与一次回风的混合风。一次加热一般只用于冬季很冷的地区，防止新风与一次回风混合后达到饱和，产生水雾或结冰。一次加热还应用于一次混合不允许变动的超净空调系统中。当采用蒸气或热水进行加热时，一般采用控制蒸气或热水的调节阀开度实现温度控制;当采用电加热时，通过晶闸管电力控制器，控制其加热电功率实现温度控制。

(2)、洁净室湿度控制

A、除湿(干燥)处理及控制空气冷却干燥处理常用表冷器来完成。表冷对空气的处理的等湿冷却二种处理过程。采用表冷器进行湿度控制时，是通过调节表冷器的冷媒(如冷冻水)流量来实现。当湿度高于要求的值时，可通过加大冷水阀的开度来加大其流量，实现除湿(即干燥)处理;反之减少流量，实现加湿处理。应该说明的是，由于空气的物理性质，其湿度的全制相对比较氨杂，方法也较多。而且，空气的温度和星度二个参数在调节过程中又相互影响。如某些原因使室内温度升高，引起空气中水蒸汽的饱和分压变化，在**含是量不变的情况下，将使相对湿度减少。因此，对其中某一参数进行调节时，也会引起另一参数的变化。例如在夏季采用表冷器进行除湿调节，开大冷水时，在使湿度恢复正常的同时，也使温度降低。因此，在工艺设计和自控方案设计时都应充分考虑到这一特点。

B、加湿处理及控制洁净室空调工程中，加湿操作一般是在冬季或过渡季节空气干燥时进行。空气加湿的方法比较多。通常采用蒸汽加湿器和电加湿器的开关控制或功幸调节。蒸汽加湿时，根据湿度控制要求，可通过对电滋阀进行位式控制或采用二通调节阀的连续调节来实现。