静电对洁净车间有哪几种危害？

发布时间：2023-12-13 08:11:04

静电对洁净车间有哪几种危害？文章概要：对我们来说，静态可能是一个小问题的意见，只是片刻的事情，但清洁车间的静态是关于产品合格率。让我们了解静电对清洁车间的危害。1.静电库仑力在静电库仑力的作用下，清洁车间吸收的灰尘和污垢会增加元件的泄漏或短路，从而损坏性能，大大降低产量和可靠性。如粉尘粒径>100微米，铝丝宽约100微米，氧化膜厚度在

静电对洁净车间有哪几种危害？

对我们来说，静态可能是一个小问题的意见，只是片刻的事情，但清洁车间的静态是关于产品合格率。让我们了解静电对清洁车间的危害。

1.静电库仑力

在静电库仑力的作用下，清洁车间吸收的灰尘和污垢会增加元件的泄漏或短路，从而损坏性能，大大降低产量和可靠性。如粉尘粒径>100微米，铝丝宽约100微米，氧化膜厚度在50微米，**容易废弃的产品。现在线直径较薄，氧化膜很薄，粒径小的灰尘颗粒会损坏元件，这种情况发生在清洗车间腐蚀清洗，光刻，点焊和包装等工序中。

2.静电放电ESD

（1）元件的*缘氧化膜被破坏，引线在电线之间燃烧或熔化。如果机身带有10KV（100pF）的静电，触摸设备脚时会发生ESD，清洁车间的瞬时脉冲放电电流峰值可以达到20A（10~100s），更不用说高密度，细线直径，薄的SiO2薄膜Lsi，Vlsi，一般是IC，MOS会受到损害。

（2）造成洁净车间噪声和电磁波干扰

ESD导致电磁波前后峰相对尖锐，信号强，相当于电路中几伏的能量，频率跨越几个MH2极有数百MH2的强大噪声，可能对元件造成损坏，设备和传感器无法正常工作，甚至造成清洁车间设备崩溃。

（3）触电

尽管在半导体，平板显示器和光电子器件等洁净室中已经做了很多工作，但洁净室中的静电问题仍然影响生产安全和产品产量，制造成本和效益，以及产品质量和可靠性。根据外国行业专家的估计，美国静电造成的年度产品损失平均为8-33％。有人估计，美国静电引起的电力行业每年损失价值10亿美元。在20世纪80年代，对日本废弃电子产品的分析占ESD的损失的1/3。中国的半导体，平板液晶显示器，光电子等起步较晚，但静电危害也时有发生，产量低。

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