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FFU净化单元在电子行业中的使用

发布时间:2023-07-07 08:16:22

FFU净化单元在电子行业中的使用文章概要:当今在电子行业普遍使用的FFU(FanFilterUnit)机组由箱体、无蜗壳风机、高效过滤器以及控制元件等组成,实际就是一种自带风机层流单元的型式,既可以作层流单元使用,也可以用于乱流洁净室的送风单元,而且主要是用于电子行业。电子行业的特点是建设规模比较大,洁净室的空间面积也比较大,洁净度的等级也比较高,尤其是千级

FFU净化单元在电子行业中的使用

当今在电子行业普遍使用的FFU(FanFilterUnit)机组由箱体、无蜗壳风机、高效过滤器以及控制元件等组成,实际就是一种自带风机层流单元的型式,既可以作层流单元使用,也可以用于乱流洁净室的送风单元,而且主要是用于电子行业。电子行业的特点是建设规模比较大,洁净室的空间面积也比较大,洁净度的等级也比较高,尤其是千级、百级比较多,而且改造也相当频繁。

在电子行业中常规的净化空调系统往往存在投资大、能耗高、灵活性不够、改造调整困难,施工周期长,改造费用比较高等缺点。正是FFU作为送风单元克服了以上缺陷,在国内外的电子洁净工程得到广应用。它的应用由以下几部分组成:

(1)FFU机组;

(2)FFU配套的专用龙骨系统;

(3)冷却盘管(或称干盘管);

(4)新风系统。

它的优点是:

(1)系统灵活,改造方便,随时调整送风单元的数量,从而改变房间的送风量(即换气次数)。节省空间,吊顶回风静压箱中可安排各种管线、灯具、喷淋和静电中和器等。

(2)如果车间面积很大,省去了很长、很大的送回风管,节约能耗。

(3)负压密封。在FFU运行中不必担心过滤器安装不良产生的泄漏。

电子厂房中FFU通常和冷却盘管配套使用,减少了输入的一次风量,这是与电子行业生产过程产湿量少的特点是相对应的。但是在制药行业由于湿度要求比较干燥,设置冷却盘管是不妥当的。一般是靠加大一次风量来消除房间的冷负荷。采用FFU来做层流罩将会增加系统对房间的送风量。

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